由电子枪产生发射出来的电子束，经栅极聚焦后，在加速电压作用下，经过2至3个电磁透镜组成的电子光学系统，电子束会聚成一个更细的电子束，扫描线圈使电子束在样品表面扫描。[详细]

晶体的X射线衍射图像实质上是晶体微观结构的一种精细复杂的变换，每种晶体的结构与其X射线衍射图之间都有着一一对应的关系，其特征X射线衍射图谱不会因为其他物质混聚在一起而产生变化，这就是X射线衍射物相分析方法的依据。[详细]